实验室高真空分子泵组
1．前级泵：双极4旋片真空泵
2．前级泵抽气速率：2.2L/S（对真空环境要求洁净的客户可选配无油干泵）
3．前级泵极限压强：≤5Pa
4．分子泵：FF-/15050转/分
5．分子泵抽气速率：L/S
6．分子泵启动时间：≤2min
7．空载极限压强：≤1X10-4Pa
8．真空测量范围：冷阴极标准规管1E﹢2到1E-5Pa
9．抽气接口：KF25
10．阀门类型：KF25手动挡板阀
11．系统电源：ACV
12．系统功率：1．5KW
13．环境温度：5~32℃
14．冷却方式：强制风冷却
15．湿度:≤80%
16．噪音:＜60分贝
17．外形尺寸:XXmm
18．重量:55KG
undefined